對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-04-29在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:甬江實驗室因發展需要，需采購深硅刻蝕機1套、濕法厚膜沉積設備1套。資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經落實。項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件。2、招標內容招標項目編號:0762-2441CBNB2010招標項目名稱:甬江實驗室采購深硅刻蝕機和濕法厚膜沉積設備項目（重招）項目實施地點:中國浙江省招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	深硅刻蝕機	1套	真空系統：腔室極限真空≤0.1mTorr，腔室漏氣率≤2mTorr/min，控壓范圍至少包括5mTorr-500mTorr，控壓精度≤±0.1mTorr。
2	濕法厚膜沉積設備	1套	預處理模塊：配置預潤濕功能，電鍍前對晶圓表面及TSV深孔等進行有效潤濕并去除晶圓表面顆粒等污染物，真空度≤40torr，漏率＜40torr/min。

3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網（m.dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯系人：李楊  
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備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。

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