招標公告

深硅刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源自籌資金，出資比例共為100%。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受淮海工業集團 （招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：深硅刻蝕機

1.2 招標編號：0779-24400724A005

1.3設備技術要求：

1)設備配有1套深硅刻蝕工藝腔室，主要包括主機、加熱系統、冷卻系統、真空系統、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等;

2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕；

3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓;

4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂;

5)硅-玻璃鍵合片(硅結構有背腔)，在暴露面積≥30%時，刻蝕后表面干凈，無“掉渣”及“長草”現象;

6)工控系統基于 Windows7 及以下版本的操作系統；

7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氨氣壓力10Torr時，氨氣流量≤5sccm。

1.4 數量：1臺

1.5 交貨期：合同簽訂后12個月內

1.6 項目現場：山西省長治市潞州區淮海工業集團 。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商應獲得制造商的有效授權，須提供正本（制造商的有效授權書包括制造商直接開具的；或制造商在中華人民共和國關境內的獨資公司開具的；或經制造商授權并允許其再授權的單位開具的）。

2.3本次招標不接受聯合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構

3. 招標

4.

未在中國電力招標采購網（m.dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機：18811547188
聯系人：李楊
QQ:1211306049
微信：Li18811547188
郵箱：1211306049@qq.com
來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。
編輯：365trade