1. 招標(biāo)條件

本招標(biāo)項(xiàng)目12英寸非接觸式光刻機(jī) 該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對12英寸非接觸式光刻機(jī)進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。

2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍

2.1 招標(biāo)編號：ZKX20250915A005

2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱：12英寸非接觸式光刻機(jī)。

2.3 數(shù)量：1套。

2.4 核心技術(shù)指標(biāo)：

2.4.1 曝光光源：汞燈（i線）

2.4.2 最大光刻面積：≥8英寸

2.4.3 分辨率：優(yōu)于0.5μm (正性光刻膠厚度1um)

2.4.4 套刻精度：優(yōu)于±350nm @ 8英寸

2.4.5 曝光時(shí)間：≤120s @300mj（8英寸全片超過1.4億個(gè)多邊形結(jié)構(gòu)）

2.4.6 掩模版下表面與芯片上表面之間距離不小于10mm

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同生效后5個(gè)月內(nèi)。

3. 投標(biāo)人資格要求

3.1 投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。

3.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3.4其他要求：授權(quán)代表須提供投標(biāo)截止時(shí)間前最近6個(gè)月中任意1個(gè)月社保證明文件（如果委托代理人的社保不是投標(biāo)人繳納，需要提供委托代理人和投標(biāo)人之間的用工合同，投標(biāo)人委托第三方投保的有效合同證明）。

3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

4.

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編輯：365trade