感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統項目已具備招標條件。資金來源自籌資金。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物

1.2 招標編號：0779-21400316A008

1.3 設備組成與技術性能：

1.3.1 設備組成

設備主要由以下幾部分組成：反應腔、下電極、上電極（ICP源）、射頻源、真空系統、預真空室、氣路系統、控制系統與軟件、配套附件等。

1.3.2 技術性能

1.3.2.1 反應腔

（1）上、下電極之間的距離可電動調節、以優化工藝；

（2）反應腔采用雙層進氣，配置單獨的SiH₄進氣環。

1.3.2.2下電極

樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規則碎片；不同尺寸樣片之間的切換，無需開腔、無需破真空。

1.3.2.3上電極（ICP源）

采用平板式天線。等離子體密度可到1E12 cm^-3。

1.4 數量：1臺（套）。

1.5 交貨期：合同簽訂后6個月內交貨。

1.6 項目現場：中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

2.2 本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供授權書。

2.3 本次招標要求所投產品制造商2018年至今訂不少于2臺（套）感應耦合等離子體化學氣相沉積系統供貨合同，提供合同復印件作為證明。

2.4本次招標不接受聯合體投標。

2.5投標人必須向招標代理機構

3. 招標文件獲取

3.1 支付成功后在航空工業電子采購平臺電子招投標專區自行下載招標文件。

3.3 投標人必須在航空工業電子采購平臺電子招投標專區注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見航空工業電子采購平臺電子招投標專區相關說明）。

4. 投標文件的遞交

4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2021年03月30日09時30分，投標人必須在此時間前將加密的電子版投標文件傳至航空工業電子采購平臺電子招投標專區（ /rest/index）并在此時間前現場遞交單獨密封的紙質版投標文件。

4.2 紙質版投標文件遞交地點為 大樓一層會議室。逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

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