項(xiàng)目概況

東南大學(xué)微納系統(tǒng)國際創(chuàng)新中心無掩膜激光直寫光刻機(jī)采購 招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在南京市建鄴區(qū)新城科技園嘉陵江東街8號綜合體B3棟16層

一、項(xiàng)目基本情況

項(xiàng)目編號：JSHC-2021090615C6

項(xiàng)目

預(yù)算金額：504.0000000 萬元（人民幣）

采購需求：

東南大學(xué)微納系統(tǒng)國際創(chuàng)新中心采購無掩膜激光直寫光刻機(jī)一臺（套），主要技術(shù)要求如下：

1.設(shè)備組成：1、溫控防塵罩；2、高精密透鏡模塊及DMD模塊；3、半導(dǎo)體激光器（Diode Laser）；4、工作平臺裝置；5、定位激光干涉儀；6、主機(jī)電器控制裝置；7、圖形轉(zhuǎn)換軟件及系統(tǒng)操作計(jì)算機(jī)；8、大理石或花崗巖機(jī)座及氣浮減震裝置。

2.須具備兩種不同波長的光源；曝光用光源及波長：(1) 405nm Diode Laser；(2) 375nm UV Diode Laser。

3.直寫速度：在100×100mm的刻寫幅面下，須達(dá)到≤35 min；可進(jìn)行128階灰度曝光；配置高深寬比模塊，透過調(diào)整聚焦深度，以優(yōu)化膜厚較厚的光刻膠側(cè)壁粗造度；配置單元圖形對準(zhǔn)功能，對晶圓上的各個(gè)單元圖形進(jìn)行逐一對準(zhǔn)，并對每個(gè)單元圖形進(jìn)行逐一曝光。

最大直寫面積≥ 200mm x 200mm；配置背向?qū)?zhǔn)功能，背向?qū)?zhǔn)精度≤1000nm。

合同履行期限：詳見采購文件

本項(xiàng)目( 不接受  )聯(lián)合體投標(biāo)。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；

2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求：

非專門面向中小企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性單位采購的項(xiàng)目。

3.本項(xiàng)目的特定資格要求：無

三、 （北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）

獲取采購文件

售價(jià)：￥600.0 元，本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和

四、提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)

提交投標(biāo)文件截止時(shí)間：2021年12月08日 09點(diǎn)30分（北京時(shí)間）

開標(biāo)時(shí)間：2021年12月08日 09點(diǎn)30分（北京時(shí)間）

六、

未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（m.dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相關(guān)說明下載招標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
傳真：010-51957412 
手機(jī)：18811547188
QQ:1211306049 


備注：欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費(fèi)后，查看項(xiàng)目業(yè)主，招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標(biāo)清單，報(bào)名申請表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購買標(biāo)書操作流程按會員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)，以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。

來源：中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)?編輯：mof.go